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半導(dǎo)體氣體過濾器
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卡套直通過濾器_不銹鋼氣體過濾器_精密高效工藝氣體過濾器

  • TF系列工藝氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計,精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便,僅需氣路對接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險,確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過濾效率,是工藝氣體凈化的理想之選。
  • 產(chǎn)品詳情

TF系列工藝氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡便、僅需氣路對接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險、確保密封無憂。采用頂級316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過濾效率、是工藝氣體凈化的理想之選。

產(chǎn)品特點

? 整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

? 高通量、低阻力

? 超高顆粒攔截率

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕、適用于多種工藝氣體、適用于潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝100%完整性測試

? 100%氨氣檢漏測試

F型直通式過濾器

1、結(jié)構(gòu)緊湊,節(jié)省空間

2、工作壓力可達: 207bar(3000psig)

3、工作溫度:-28~ +482℃


技術(shù)參數(shù)


濾芯材質(zhì)

316L不銹鋼粉末燒結(jié)

殼體材質(zhì)

316L不銹鋼

氦氣驗證泄漏率

2x10-10cc/min

氦氣測試泄露率

1x10-10cc/min

表面處理

外表面

Ra < 1.6μm

最高使用溫度

惰性氣體

400-500°C

內(nèi)表面

Ra < 0.2μm

腐蝕性氣體,反應(yīng)氣體

50°C

顆粒攔截效率

99.9999999%(9LRV)@30slpm

下游潔凈度

0.03particles/liter
@>0.01um,30slpm

顆粒攔截粒徑

≧0.003μm


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