DF系列擴散器專用過濾器、專為半導體制程中真空腔體快速放氣應用進行設計   穩(wěn)壓、穩(wěn)流、規(guī)避湍流

結合了擴散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性、擴散器專用過濾器過濾精度可達0.003um。

獨特的全316L不銹鋼結構、不僅確保高效過濾、更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生、對工藝室環(huán)境造成影響、有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。

可定制化設計、靈活適應各類安裝空間。

產(chǎn)品特點

不銹鋼粉末燒結介質、可快速排氣

整體316L不銹鋼結構

減少工藝腔體排氣時的湍流

適用于多種工藝氣體

潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝

100%完整性測試通過

100%氨氣泄露檢測通過、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

防止微?；烊?、幫助提高產(chǎn)品合格率可根據(jù)安裝空間進行設計

技術參數(shù)