RF系列多孔金屬限流器：壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中，保護(hù)氣體  流量穩(wěn)定可靠，它通過與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線破裂、閥門或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動負(fù)擔(dān)、避免氣體過載引發(fā)不良后果。結(jié)構(gòu)堅因、更換便捷。

多孔金屬限流器特點(diǎn)：

1、結(jié)構(gòu)緊湊、節(jié)省空間

2、通過更換氣阻配件、可定制不同流量

3、流量控制可靠持久

4、可用于高流量、高溫度與高壓力環(huán)境、減少氣體流動負(fù)擔(dān)、不易堵塞、可形成層流整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)、無結(jié)構(gòu)彎曲或顆粒脫落

5、使用壽命長

6、100%氨氣泄露檢測通過

技術(shù)參數(shù)