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高精度工業(yè)設備不銹鋼真空卡環(huán)過濾器

  • 不銹鋼濾器采用316L金屬粉末為原材料,無需添加黏合劑,經(jīng)冷等靜壓成型后,通過高溫真空燒結制成。通過選配金屬粉末顆粒尺寸與工藝參數(shù),調(diào)整孔隙大小與分布。恒歌可提供不同材質(zhì)和尺寸的燒結金屬粉末元件,可以在較惡劣的溫度、壓力和腐蝕工況下使用
  • 產(chǎn)品詳情

KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設備吞吐量。

在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應用于半導體設備接口(如CVD、PVD、Etch、Epi)及各類真空室(裝載鎖、傳輸、冷卻、工藝腔體)的通風,適合短時間內(nèi)傳遞大量氣體流的場合。

產(chǎn)品特點

●減少工藝腔體排氣時的湍流

●適用于多種工藝氣體

●潔凈室環(huán)境內(nèi)制造、測試、包裝

●100% 完整性測試通過

技術參數(shù)

濾芯材質(zhì)16L不銹鋼粉末燒結殼體材質(zhì)316L不銹鋼
最大進氣壓力6.89bar0-ring氟橡膠(可選)
最大工作壓差3bar工作壽命≥100,000cycles
最高操作溫度100°C with 0-ring
400'C with no 0-ring
下游潔凈度0.03particles/liter
@>0.01um rate flow


不銹鋼粉末燒結真空卡環(huán)過濾器濾芯-DSC_6279.jpg


半導體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_05.jpg

過濾替換頁-精細版_01.jpg

半導體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_07.jpg

半導體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_13.jpg

半導體-真空系統(tǒng)氣體過濾器_14.jpg

20241130-擴散器專用過濾器_16.jpg




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