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超高純氣體擴(kuò)散器
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擴(kuò)散器專(zhuān)用金屬過(guò)濾器_納米級(jí)氣體過(guò)濾器生產(chǎn)廠家

  • 恒歌擴(kuò)散器專(zhuān)用不銹鋼過(guò)濾器是專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用精心設(shè)計(jì)的高性能過(guò)濾設(shè)備。它巧妙地融合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,實(shí)現(xiàn)了在快速排氣的同時(shí),對(duì)微小顆粒的高效過(guò)濾,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的氣體凈化提供了可靠的保障。
  • 產(chǎn)品詳情

恒歌擴(kuò)散器專(zhuān)用不銹鋼過(guò)濾器是專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用精心設(shè)計(jì)的高性能過(guò)濾設(shè)備。它巧妙地融合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,實(shí)現(xiàn)了在快速排氣的同時(shí),對(duì)微小顆粒的高效過(guò)濾,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的氣體凈化提供了可靠的保障。

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

1、高效過(guò)濾與氣流優(yōu)化

高精度過(guò)濾:采用先進(jìn)的不銹鋼粉末燒結(jié)介質(zhì),能夠有效攔截0.003um級(jí)別的微小顆粒,確保氣體的高純度,有效防止微?;烊?,從而幫助提高產(chǎn)品的合格率,滿足半導(dǎo)體制造對(duì)氣體純度的嚴(yán)格要求。

優(yōu)化氣流設(shè)計(jì):獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保了過(guò)濾器的高效過(guò)濾性能,還巧妙地規(guī)避了湍流的產(chǎn)生,減少了氣流對(duì)工藝室環(huán)境的影響,有效防止氣流吹起顆?;虼灯鸸杵U狭斯に囘^(guò)程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量。

2、優(yōu)質(zhì)結(jié)構(gòu)與廣泛適用性

堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu):整體采用316L不銹鋼材質(zhì),具備卓越的耐高溫、耐高壓和耐腐蝕性能,能夠適應(yīng)各種嚴(yán)苛的工藝環(huán)境,確保過(guò)濾器在長(zhǎng)期使用過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。

廣泛適用性:適用于多種工藝氣體,無(wú)論是常見(jiàn)的惰性氣體還是具有特殊性質(zhì)的反應(yīng)氣體,都能實(shí)現(xiàn)高效的過(guò)濾和穩(wěn)定的氣流控制,為不同的半導(dǎo)體制造工藝提供定制化的解決方案。

潔凈制造與嚴(yán)格檢測(cè):在潔凈室環(huán)境中進(jìn)行制造、測(cè)試和包裝,確保過(guò)濾器在出廠前就達(dá)到高潔凈度標(biāo)準(zhǔn)。同時(shí),經(jīng)過(guò)100%完整性測(cè)試和100%氨氣泄露檢測(cè),保證了每一個(gè)過(guò)濾器都具備卓越的密封性能和過(guò)濾效果,讓用戶(hù)在使用過(guò)程中無(wú)后顧之憂。

3、靈活定制與便捷安裝

可定制化設(shè)計(jì):DF系列擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器可根據(jù)不同的安裝空間和工藝需求進(jìn)行靈活定制,無(wú)論是緊湊的空間還是特殊的安裝位置,都能提供合適的解決方案,滿足用戶(hù)的個(gè)性化需求。

快速排氣:得益于其獨(dú)特的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和高效的過(guò)濾介質(zhì),過(guò)濾器能夠?qū)崿F(xiàn)快速排氣,顯著縮短了真空腔體的放氣時(shí)間,提高了生產(chǎn)效率,為半導(dǎo)體制造過(guò)程中的快速工藝轉(zhuǎn)換提供了有力支持。

DF系列擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器以其卓越的過(guò)濾性能、優(yōu)化的氣流設(shè)計(jì)、堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)以及靈活的定制化能力,為半導(dǎo)體制程中的真空腔體快速放氣應(yīng)用提供了理想的解決方案,是確保氣體純度、提高產(chǎn)品合格率、保障工藝穩(wěn)定性的重要設(shè)備。

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