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詳解半導(dǎo)體氣體過濾器的工作原理及其在行業(yè)中的應(yīng)用!

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時(shí)間:2024-11-29 03:33:10人氣: 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

一、半導(dǎo)體氣體過濾器的工作原理


半導(dǎo)體氣體過濾器其工作原理相當(dāng)精妙。拿恒歌半導(dǎo)體氣體過濾器來說,當(dāng)含有雜質(zhì)的氣體進(jìn)入過濾器時(shí),首先遭遇的是其內(nèi)置的 0.003 - 100 微米過濾器。這些不同孔徑的濾網(wǎng)就像層層關(guān)卡,憑借超高顆粒攔截效率,哪怕是極其微小的顆粒也難以蒙混過關(guān)。其先進(jìn)的納米攔截功能更是如虎添翼,對(duì)于納米級(jí)別的雜質(zhì)能精準(zhǔn)捕捉。


整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)不僅為過濾器提供了堅(jiān)固的框架,還在過濾過程中起到關(guān)鍵作用。這種材質(zhì)耐高溫、耐高壓、耐腐蝕,確保在半導(dǎo)體生產(chǎn)的極端環(huán)境下,如高溫的芯片退火工序或高壓的氣體輸送環(huán)節(jié),過濾器依然能穩(wěn)定運(yùn)行。而且,過濾器設(shè)計(jì)成高通量、低阻力,氣體能夠順利通過,就像水流經(jīng)過精心設(shè)計(jì)的河道,既保證了過濾速度,又不影響氣體的正常供應(yīng)。

氣體8.jpg


二、在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用


在半導(dǎo)體制造這個(gè)高精尖領(lǐng)域,半導(dǎo)體氣體過濾器無處不在且不可或缺。在芯片制造的光刻環(huán)節(jié),對(duì)氣體純度要求極高,哪怕一絲雜質(zhì)都可能使光刻圖案出現(xiàn)偏差,導(dǎo)致芯片報(bào)廢。而該過濾器能將出口氣體雜質(zhì)含量控制在小于 5ppb,為光刻提供超純凈氣體環(huán)境,保障圖案精準(zhǔn)度。


蝕刻工藝中,純凈的蝕刻氣體是關(guān)鍵。過濾器去除雜質(zhì)后,蝕刻反應(yīng)能均勻穩(wěn)定進(jìn)行,確保芯片蝕刻效果。對(duì)于多種工藝氣體,無論是常用的氮?dú)?、氬氣,還是特殊的反應(yīng)性氣體,恒歌半導(dǎo)體氣體過濾器都能應(yīng)對(duì)自如。它還可配置兩閥、三閥和四閥等組件,方便與各類半導(dǎo)體設(shè)備集成。無論是大型晶圓制造設(shè)備,還是小型氣體供應(yīng)單元,都能無縫銜接,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中,它都是保障產(chǎn)品高質(zhì)量、高性能的幕后英雄,為半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展默默貢獻(xiàn)力量。


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